纳谐振器

（工学 | 机械工程）

纳谐振器（nano resonator），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳器件，由电信号驱动并可通过传感机制实现电信号输出的、特征尺度在纳米量级的机械谐振器。纳谐振器是纳机电振荡器、纳机电谐振式传感器等器件的核心结构。