冷电离规
(理学 | 物理学)
冷电离规(cold cathode ionization gauge),理学-物理学-热学-〔第一批〕,一种电离真空计。利用磁控放电电离气体产生离子流,离子流的强度与气压成比例关系。测量范围:1大气压至10-7帕。
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