净化间(cleanroom),工学-电子科学与技术-集成电路-集成电路工艺,空气悬浮粒子浓度受控的房间。又称洁净室。净化间通常用于专业化工业生产或科学研究实验中,也是集成电路制造的必备设施。净化间旨在保持极低水平的微粒,如灰尘、空气传播的生物或汽化的微粒。净化间的清洁度水平往往通过在预定分子量度下每立方米的颗粒数量来定量。典型市区环境的室外空气每立方米含有3500万个大于0.5微米的颗粒,而相比之下,百级净化间只允许含有3500个颗粒。净化间的使用主要是为了满足精密机械等现代工业、半导体工业领域的生产研究对环境的要求,在这些领域,空气中悬浮粒子的浓度会大大影响成品率和产品质量。净化间工作原理是,在密封房间中不断向下排入通过灰尘过滤后的空气,并在内部通过低处或底部高效的排风过滤再循环系统不断去除内部产生的污染物。