微阀（micro valve），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳驱动，实现微流体系统的流量和流阻的调节功能的执行器件。集成了阀片、阀塞、微通道等微结构。阀片与阀塞之间留有微小的间隙通道，主要用于调节流量。在受到不同方向的流体压力作用时，阀片发生变形，通道内的流阻产生变化，改变了流量，从而实现对流量的调节。理想微阀具有零泄漏、零功率损耗、零绝对流量、无线差压测量能力、对微粒不敏感、零响应时间、线型操作能力等特征。而在实际中，理想微阀不存在。微阀的应用有着很强的环境针对性。按照是否具有动力驱动机构，微阀可分为无源阀和有源阀。①无源阀，不需要外部动力或控制，用作泵（比如心脏）的无源检测阀。美国设计了一个带燃料注入喷嘴的体硅微机械加工的无源阀（一般用于汽车）。1989年，瑞典发明了基于两个晶片相接的方法制造无源阀。1991年，瑞典利用氧化物在硅晶片上掩模腐蚀出锥形深坑，后除去氧化物，重掺杂硼（大于1019厘米），接着用无掩模的掺杂选择性腐蚀形成阀叶并开槽，获得槽深约为10微米的单相阀。这种阀的制造简单，但是有泄漏的瑕疵。