性质：熔点6℃，沸点156℃(6.7Pa)。纯度≥99.99%。是无色可燃液体，对空气和水是敏感的化合物。制备方法有：(1)五氯化铌与无水乙醇及高纯氨气反应；(2)无水乙醇与五甲氧基铌进行酯交换反应；(3)电化学法。采用重结晶法和真空精馏法进行提纯。主要用于CVD和Sol-Gel法中制备高纯Nb2O5或含Nb2O5组分的多组分氧化物薄膜及粉体的功能材料的前体源。制备方法有.fl)五氯化锐与无水乙醇及高纯氨气反应;(2)无水乙醇与五甲氧基视进行酷交换反应;[37电化学法。采用重结晶法和真空精馏法进行提纯。主要用于t'，1' L3和Sol-C e!法中制备高纯IVb刃s或含fVh2Us组分的多组分氧化物薄膜及粉体的功能材料的前体源。