二氯甲硅烷

二氯甲硅烷是一种无机化合物，化学式为SiH2Cl2，相对分子量为101.007。其主要用途是半导体生产，在化学气相沉积室中将其与氨混合，可以生长氮化硅薄膜。二氯甲硅烷最初是在1919年通过甲硅烷与氯化氢的气相反应制备的，该实验由Stock和Somieski首次完成。