电子微探针

电子微探针（Electronic microprobe），结合运用电子显微镜技术和 X射线分光技术的电子光学式分析仪器，又称电子微区分析仪、电子探针或电子探针X射线微区分析仪。在涉及研究固态试样元素组分及浓度的二维分布时，常用的一种方法是电子微探针。电子微探针中的电子束斑直径可达到0.1μm，但要求试样厚度在0.1μm左右。对于厚试样，其空间分辨率限制在0.5μm左右，原因是电子束在试样中会产生很强的散射现象。而对于质子，因其质量大，散射要比电子小得多。MeV级能量的质子在穿透20μm厚的试样后仍能保持较好的空间分辨率，这就反映了用质子显微镜研究厚靶试样比较方便。