热解氮化硼(PBN)是特种陶瓷材料。热解氮化硼的沉积过程,宛如“落雪”:氮化硼的六角型小雪片,一片一片的平行地落在石墨基体材料上,达到一定厚度后,最终冷却脱模而制成。■主要特点:材料呈白色,无毒、无孔隙、易加工。纯度高达99.99%,表面致密,气密性好。耐高温,强度随温度升高,2200℃达到最大基本内容 ■主要特点:材料呈白色,无毒、无孔隙、易加工。纯度高达99.99%,表面致密,气密性好。耐高温,强度随温度升高,2200℃达到大值。耐酸、碱、盐及有机试剂,高温与绝大多数熔融金属、半导体等材料不湿润、不反应。抗热震性好,热导性好,热膨胀系数低。电阻高,介电强度高,介电常数小,磁损耗角正切低,并具有良好的透微波和红外线性能。在力学、热学、电学等等性能上有着明显的各向异性。■应用半导体单晶及III-V族化合物合成用的坩埚、基座:原位合成GaAs、InP、GaP单晶的LEC系列坩埚。分子束外延用的MBE系列坩埚。VGF、VB法系列坩埚。PBN/PG复合加热器涂层。石墨加热器绝缘涂层。高温绝缘流体喷嘴。MOCVD绝缘板。异形坩埚及异形石墨件涂层。晶片退火工艺用复合加热器。 ■规格:类,型类,别,大,尺,寸坩埚类LEC8,inchVGF8,inchMBE8,inch异形坩埚板材类圆形板材8,inch长舟8,inch绝缘板(MOCVD)8,inch涂层类蒸发舟石墨加热器PBN/PG复合加热器 ■主要参数:性能单位数值晶格常数μ,ma,2,504×,10-10,c,6,692×,10-10表观密度g/cm32,10,2,15(板材),2,15,2,19(坩锅)氦透过率cm3/s1×,10,10显微硬度(Knoop)(ab平面)N/mm2691.88体积电阻系数Ω·cm3,11×,1011抗张强度,(力||,“C”)N/mm2153.86抗弯强度(力||,“C”)N/mm2243.63(力