电感耦合等离子体

电感耦合等离子体是由高频感应电流产生的类似 火焰的激发光源。主要包括高频发生器和感 应线圈、等离子体矩管和工作气体三部分。 在近代物理学中，把电离度大于0.1%电离 气体都称为等离子体，也即电子和离子浓度 处于平衡状态的电离气体。等离子矩就是由 等离子体形成的"电火炬"。电感耦合等离 子体矩是利用高频感应加热原理，使流经石 英管的工作气体(通常为Ar)电离而产生 火焰状的离子体。