介质薄膜

介质薄膜是指在混合集成电路中，除SiO， SiO2， BaTiO3‑、Y2O3、Si3N4 ，钽基介质薄膜以外的其它介质薄膜。介质薄膜是指在混合集成电路中，除SiO， SiO2， BaTiO3‑、Y2O3、Si3N4 ，钽基介质薄膜以外的其它介质薄膜。