真空区域
(机械工程名词)
真空区域(range of vacuum)是2013年公布的机械工程名词。根据一定的压力间隔所划分的不同的真空范围或真空度。按气体分子的物理特性划分如下:105~102Pa为低(粗)真空;102~10-1Pa为中真空;10-1~10-5Pa为高真空(HV);<10-5Pa为超高真空(UHV)。
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