磁阻尼法
(电力工程专业术语)
磁阻尼法又名磁场中的单晶生长技术,是一种利用磁场使晶体生长的方法。在电阻加热的直拉或横拉的晶体生长技术中,在晶体生长前沿加一横向磁场。由于磁场场的感应阻尼作用,消除了结晶过程中熔体的振动,并且使得结晶前沿熔体的运动形式由片流变为涡流,打乱了那种因潜热析出温度周期性起伏所导致的杂质分布的周期性变异。此法可以有效地克服半导体材料中的电阻率微变异,是获得高均匀性半导体晶体的技术。
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