徐德辉

（中国科学院上海微系统与信息技术研究所副研究员）

徐德辉，中国科学院上海微系统与信息技术研究所副研究员，2006年起开始从事微纳机电系统、微纳技术的研究工作，开发的CMOS-MEMS技术实现圆片级封装非致冷红外探测微系统，研究的微机械谐振器fQ乘积逼近