微机电工艺规则检查（MEMS process rule checking），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微机电系统分层级设计，检查工艺集成顺序的冲突并给出自动化可行性的估计报告。计算机辅助微机电系统工艺集成（CAMPI）的一个重要的步骤。由于微机电系统（MEMS）中具有复杂的工艺，而且一个MEMS器件需要多个工艺步骤，所以工艺级仿真和工艺规则检查的步骤很重要。主要的规则检查包括5个方面：①熔点规则。比较结构中材料的熔点和工艺处理环境的温度，找出工艺中温度的不匹配，确保在整个工艺中温度是从高到底的。②热膨胀系数规则。与在特定工艺温度下的材料层的热膨胀系数作为对比，可以找到多层材料的不匹配，例如硅和氮化硅薄膜，硅金薄膜。③化学或离子反应速率规则。与表面材料的刻蚀速率相比较，可以找出保护层和结构层之间的冲突，确保在刻蚀工艺下保护层可以保护结构层不被刻蚀。④再生产物规则。记录工艺中再生产物的材料，检查设备的工艺限制，可以找到工艺过程中的污染问题。⑤台阶限制规则。与器件结构中的最高的台阶限制做对比，可以确定光刻步骤的可行性。