表面等离激元传感器(surface plasmonic sensor),工学-电子科学与技术-纳米电子学-等离子体纳米电子学-等离子体器件,依据金属结构表面等离激元共振对周围介电环境的敏感响应而研制的传感器。1982年,研究者首次将金属薄膜的表面等离激元对周围介质的响应用于探测气体和生物分子;1990年,瑞典科技公司开发的第一台商用表面等离激元传感器问世。表面等离激元传感器的组成部分主要包括光学系统、传感元件、数据采集和处理系统等。其主要分为两类,即传导表面等离激元传感器和局域表面等离激元传感器。早期表面等离激元传感单元以支撑传导表面等离激元的金属薄膜为主。这一类型的传感器已经商业化,但因为金属薄膜表面传导表面等离激元的电磁场衰减长度大,所以其探测时所需要的样品体积较大且无法对微量样品进行精确测量。随着纳米加工和生长技术的发展,以金属纳米结构为主的局域表面等离激元传感器可以实现局域的精确检测,吸引了众多学者进行研究。