电子束物理气相沉积

电子束物理气相沉积（electron beam physical vapor deposition; EB-PVD），工学-材料科学与工程-金属-[薄膜材料]，以电子束作为热源的蒸镀方法。简称EB-PVD。利用金属灯丝在高温状态下，内部的一部分电子获得足够大的能量逸出金属表面发射出热电子，在电磁场的作用下热电子高速运动，形成电子束轰击靶材，表面电子的动能转变成热能，使材料表面快速升温而蒸发，该工艺是真空蒸发技术的一种。