压电响应力显微术（piezoresponse force microscopy），工学-材料科学与工程-无机非金属材料-陶瓷-陶瓷性能评价-陶瓷电学性能-电畴成像方法，在原子力显微镜的基础上，利用材料自身逆压电效应探测样品表面形态的技术。简称PFM。成像机制铁电畴的PFM成像机制主要来源于压电响应衬度及静电力衬度两方面，通过光探测器测量由导电探针诱导的样品局域振动振幅与相位予以实现。利用导电探针检测铁电压电材料在交变电场作用下，因逆压电效应所产生的伸长、收缩、剪切等压电振动信息，实现铁电压电材料纳米铁电畴成像、纳米极化动力学和纳米机电特性原位表征等。其响应信号与探针、微悬臂材料种类及其弹性常数相关，同时也与实验参数（针尖半径、作用力、针尖接触面积等）密切关联。PFM针尖交变电压在样品中所产生的电场作用深度为铁电畴的响应深度，也是PFM的纵向灵敏度，该参量主要与材料的介电系数和接触面积/样品厚度比相关。PFM分辨率决定了所能探测的最小铁电畴尺寸，它取决于多方面因素，包括PFM探针直径、针尖与样品之间的接触面积、相互作用体积、接触力及针尖特性，其最高横向分辨率约为8～10纳米。