表面形貌计量技术（surface texture measurement technique），工学-仪器科学与技术-计量学-几何量计量学，表面形貌特征参数的测量技术及其溯源技术。被测表面形貌可以由表面粗糙度、表面波纹度进行评价。通过对被测表面的轮廓进行采样，获得轮廓数据。利用表面形貌滤波器对表面形貌特征进行区分。对被测表面的轮廓数据采用短波长滤波器λs滤除超短波长的数据，获得的表面形貌总轮廓，称为原始形貌，用于评价表面形貌特征参数。对被测表面的轮廓数据采用λc滤波器抑制数据中的长波成分获得的表面形貌特征，即波长介于λs和λc之间的数据，决定其粗糙度。对被测表面的轮廓数据连续使用λf滤波器和λc滤波器，抑制了长波和短波成分，即波长介于λc和λf之间的数据，决定了表面形貌特征的波纹度参数。轮廓数据中反映被测表面长波（λ>λf）特征的数据，决定了形状误差，通常不作为表面形貌计量的对象。