化学机械抛光浆料

（工学 | 化工）

化学机械抛光浆料（chemical mechanical polishing slurry），工学-化工-化工新材料-高端专用化学品-电子化学品-半导体集成电路用化学品，经过单面或双面化学机械抛光加工的半导体晶片。