微电子机械系统

微电子机械系统（micro-electro-mechanical system; MEMS），理学-物理学-凝聚态物理学-半导体物理学-〔半导体器件〕，集成了微机构、微传感器、微执行器及信号处理控制等功能于一体的系统。微电子机械系统（MEMS）是建立在微米/纳米技术基础上的一种前沿技术。日本称之为微机械，而欧洲称之为微系统技术。微电子机械系统这一概念最早可以追溯到1959年，美国著名物理学家R.P.费因曼在一次会议演讲中首先提出了MEMS的概念。在1962年，诞生了世界上第一个硅微压力传感器，它采用体硅加工技术，被认为是微传感器的开山之作。20世纪80年代，硅静电微马达问世。90年代以来，喷墨打印机、微加速度计等产品相继问世，一系列关于MEMS的会议也相继召开。在MEMS技术兴起之前，这种微型机械结构就被认为具有很广阔的前景。现今通过对传统半导体器件加工制造技术的改进，MEMS已逐步进入了人们的生活。MEMS的组成部件尺寸在1～100微米之间，而整个MEMS器件的尺寸在20～1000微米。整个系统通常包括一个中央的数据处理单元（微处理器）和一些与外界环境进行交互的部件（微传感器）。