微机电几何仿真（geometric simulation），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微机电系统分层级设计，运用几何学中的概念描述或模拟客观事物形态的技术。在基于空间结构的模型上进行试验，通过几何模型来描述客观世界的系统、过程或现象，用几何理论及相应公式描述客观事物之间的内在规律。几何模型以客观世界物体的几何参数为基础，不考虑物理因素，只考虑过程或现象中的几何形状以及运动，实现实体的真实感图形显示构造系统，通过在几何模型上进行试验，来显示相关几何实体的运动过程、运动轨迹，或者几何形状的改变。通过数据结构、算法、设计板式来描述对象内部固有的几何性质的抽象模型。微机电系统（MEMS）工艺中一个对象由一个或多个基元构成，对象中基元的轮廓和形状可以用点、直线、曲线或者曲面仿真，甚至图像等方法表示。点、线、面、体等几何元素经过平移、旋转等几何变换以及并、交、差等几何运算后，产生实际的或想象的几何模型，对实现目标与现有手段进行分析，尽可能选用最佳的技术手段。几何模型有4种类型：图解模型、曲线模型、表面模型和实体模型。