微机电在线测试（MEMS in-situ test），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微机电系统分层级设计，测试结构或样品的制备与标准的微机电系统（MEMS）器件制造工艺完全相同的测试方法。一般要求多参数能同时快速且简单地完成测试。测试结构或样品与MEMS器件承受相同的工艺条件和流程，并不会因为测试结构或样品制备而增加额外的工艺或流程。按照测试结构所受负载的类型，在线测试大致可分为两种。①通过测试结构自身形变提取材料参数的方法，例如基片曲率测试法和微梁旋转法。②通过对测试结构施加载荷测量响应提取材料参数方法，例如谐振频率法和静电执行法。在线测试获得的微机械材料的力学特性存在较多的优势：①数据具有通用性和权威性。这是由于数据在各自不同的工艺条件、试样尺寸和测试仪器的情况下获得的。②已获得的数据从品种、项目上基本完全，能满足应用需要。③具有一种快速响应机制来及时地收集、确认新数据，且在线测试方法可以很好地适应且满足新材料、新工艺层出不穷的这种现状。