微纳机电一体化

微纳机电一体化（micronano mechatronic），工学-机械工程-机械工程基础-机械设计-机电一体化，微纳机电系统（MEMS/NEMS）将处理热、光、磁、化学、生物等结构和器件通过微电子工艺及其他微加工工艺，制作到芯片上，并通过与电路相互之间的高度集成来构筑复杂的微型系统。微/纳米科学与技术是当今集机械工程、仪器科学与技术、光学工程、生物医学工程与微电子工程所产生的新兴、边缘、交叉前沿学科技术。微/纳米系统技术是以微机电系统为研究核心，以纳米机电系统为深入发展方向，并涉及相关微型化技术的国家战略高新技术。微纳机电一体化系统是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，具有微型化、以硅为主要材料，机械电器性能优良、易于集成化和批量生产以及多学科交叉的特点。微机电系统（MEMS）和纳米机电系统（NEMS）是微纳技术的重要组成部分，逐渐形成一个新的技术领域。MEMS已经发展到产业化阶段，而NEMS还处于基础研究阶段。