加速器质谱分析（accelerator mass spectrometry analysis），理学-化学-放射化学与核化学-放射分析化学-核分析技术，加速器与质谱分析相结合的核分析技术。历史早在20世纪70年代就有了用传统的低能质谱计来测量14C的原子数目以取代14C放射性衰变计数法的尝试。然而由于分子干扰和同量异位素干扰等因素，无法实现所需的分析灵敏度。1977年，R.穆勒尔提出了用回旋加速器测定长寿命放射性核素的建议，随后成功利用串列加速器测出14C的数目。在此基础上，1978年召开了第一次国际加速器质谱学会议，其后该系列会议每3年举行一次。加速器质谱技术发展迅速，全世界已有加速器质谱计100多台，中国的北京大学、中国原子能研究院和中国科学院地球环境研究所也相继掌握了这种分析技术和方法。