弹性变形真空计(elastic deformation vaccum gauge),工学-机械工程-[机械产品]-产业机械-真空技术设备-真空技术-真空计,利用弹性元件在压力差作用下产生弹性变形的原理而制成的一种直接测量真空计。在压力差的作用下,弹性元件产生变形,变形量对应压力差的大小。根据弹性元件结构的不同,弹性变形真空计可分为3种类型,即弹簧管式、膜盒式和膜片式。按照弹性变形量的测量方式划分,可分为机械传动式和电量测量式。弹性变形真空计测量范围为105~10帕。其特点是规管灵敏度与气体种类无关,而且由于其自身的吸气与放气均较小,因此对被测系统干扰少,并且可对腐蚀性气体和可凝性蒸气进行测量。弹性变形真空计所存在的问题是金属弹性元件的蠕变和弹性系数的温度效应。