射频微机电系统（radio frequency MEMS; RF MEMS），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳器件，运用微机电系统（micro electro-mechanical system; MEMS）技术，利于从低频直到红外以下频段信号，产生与处理的微型化和可集成的器件和系统。主要用于射频收发前端电路。这些器件包括微开关、可变电容器、电感、谐振器/滤波器、传输线（波导）、微型天线阵列等。这些器件具有低成本、低功耗、高隔离、低插入损耗等特点，可以与电路一起集成在单芯片上，形成完整意义上的单片微波集成电路（monolithic microwave IC; MMIC），以降低功耗，减小系统封装体积。