微小尺寸测量（small dimensional measurement），工学-机械工程-机械工程基础-[测试理论与技术]-测量，1毫米以下的尺寸（如细丝、小孔、各元件间的微小距离等）的测量。在微小尺寸测量中，定位误差较大，测量力引起的变形误差较大。用光学方法测量小尺寸时，由于衍射效应的影响，会降低轮廓的清晰度，影响瞄准精度。另外由于零件很小，零件表面附有异物将使被测轮廓影像发生畸变，影响测量精度。细丝直径可采用激光衍射法和激光能量法等进行测量。激光衍射法测量细丝直径主要采用夫琅和费衍射，即光源和衍射场都距衍射物无限远处，实际上只要足够大的距离都可认为是夫琅和费衍射（图1）。若衍射屏离细丝较远（l≥500毫米），在衍射屏上可获得一组明暗相间且等距的衍射斑纹。只要测得第级次衍射斑纹距屏中心的距离，即可确定细丝直径，即：式中为波长。对于光纤直径的测量，由于光纤通常由两种材料制成，内圆柱由折射系数高的透明材料制成，外表面则由折射系数较内圆柱低的透明材料制成。因此在两介质分界面上可形成光束的全反射。激光能量法测量光纤直径（图2），光纤本身就相当于曲率很大的柱面透镜。