蒸发镀膜装置

蒸发镀膜装置（evaporation coating equipment），工学-机械工程-机械工程基础-机械设计-表面工程-表面工程装备-物理气相沉积技术，在真空室中通过加热将镀料熔融、汽化，使其原子或分子沉积到基片（工件）表面从而形成薄膜的镀膜装置。蒸发镀膜装置通常由真空室、真空（排气）系统、蒸发系统和电器设备等组成。真空室内除工件架外，一般还配有加热（烘烤）、离子轰击或离子源等装置；为提高薄膜的厚度均匀性，工件架通常有转动机构；连续镀膜机还有卷板和传动装置以及连续加料装置。排气系统一般由机械泵、罗茨泵和扩散泵组成。蒸发系统包括蒸发源和电器设备，其中电器设备用于测量真空度、膜层厚度及控制台；蒸发源是用来加热待蒸发材料使之汽化蒸发的关键部件，根据加热方式分主要有电阻加热、电子束加热、感应加热和激光加热等多种形式。电阻式蒸发镀是利用高熔点金属或导电陶瓷加热源的电流热效应加热蒸发镀料并在基片（工件）上形成薄膜的方法，一般采用低电压（4～8伏）大电流（100～300安）的电源提供能量。