表面成分分析（surface composition analysis），工学-机械工程-机械工程基础-机械设计-表面工程-表面分析与检测，对固体表面或界面上只有几个原子层厚的薄层进行组分分析的材料物理试验方法，具体涉及表面成分、表面结构、电子态及表面物理化学过程等多种复杂信息。表面成分分析利用各种分析技术手段，揭示材料及其制品表面成分，具体包括表面元素组成、化学态及其在表层的分布测定，还涉及元素在表面的横向和纵向（深度）分布。表面成分分析涉及多种分析技术，其基本原理和特点是利用电子、光子、离子、原子、强电场、热能等与固体表面的相互作用，测量从表面散射或发射的电子、光子、离子、原子、分子的能谱、光谱、质谱、空间分布或衍射图像，从而得到表面成分的相关信息。常用的主要分析手段有以下4种。