能源微系统（power micro-electro-mechanical systems），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳器件，能够用于产生、采集、收集、转化和存储能量的微系统。又称能量微系统。微机电系统（micro-electro-mechanical systems; MEMS）研究始于20世纪90年代。该系统的一个重要分支方向，是解决微小型电子器件和系统可靠供能的问题，也是构建物联网、人工智能等智慧系统的基石之一。能源微系统工作原理是通过对振动能、热能、静电能、太阳能、生物化学能等外界能量的采集和转化，以实现针对微小系统的电能供给。其能量采集和转化的方式有多种，可以概括为以下几种类型：电磁式、压电式、光电式、热电式、摩擦生电式等。能源微系统的材料体系非常广泛，从常用的硬质材料、磁性材料到各种塑性材料以及生物材料都可以被用于能量采集和转化。通过微纳米加工技术或精密加工技术，对功能材料进行微纳米尺度的制备和组装，从而实现具有体积小、寿命长、使用稳定、集成度高等优势的能量微系统，解决特殊环境微型器件的供能瓶颈问题。