电子背散射衍射

（材料科学技术）

电子背散射衍射（electron backscattering diffraction，EBSD），材料科学技术名词，入射电子束照射高倾斜角试样产生的背散射电子与试样原子面的衍射过程。晶粒取向测定和成像的一种重要方法。