分析电子显微术

（材料科学技术）

分析电子显微术（analytical electron microscopy，AEM），材料科学技术名词，用高能电子束照射样品，收集、测定和分析样品局部区域发射出的各种信号的理论和技术。具有很高的空间分辨率，设备为分析电子显微镜。