纳电子机械系统是基于MEMS技术而提出的一个新概念，是指在特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体化研究领域，包括特征尺寸在亚纳米到数百纳米并以纳米级结构所产生的量子效应、界面效应和以纳米尺度效应为工作特征的器件和系统。过去20年中，人们一直在积极地研究MEMS，随着制作工艺精度的提高，器件尺寸迅速减小，出现了纳米尺度的MEMS，这就是纳电子机械系统（NEMS）。NEMS是基于MEMS技术而提出的一个新概念，是指在特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体化研究领域，包括特征尺寸在亚纳米到数百纳米并以纳米级结构所产生的量子效应、界面效应和以纳米尺度效应为工作特征的器件和系统，例如纳米尺度上的机械设备、电子器件、计算机和传感器。