压差真空系统
(机械工程名词)
压差真空系统(differentially pumped vacuum system)是2013年公布的机械工程名词。通过气体节流,使相互连接的各个室分别用单独的真空泵抽气以达到维持压差(压降或压力梯段)目的的一种真空系统。
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