纳执行器（nano actuators），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳器件，尺度或运动精度在1～100纳米的把能量转化为力和运动的纳机械部件或器件。可用来产生力和机械运动，是纳机电系统中的重要组成部分。纳执行器驱动有力、热、光、电等多种方式，应用比较多的有压电驱动、静电驱动、生物分子驱动等方式。①压电驱动式纳执行器，非线性强，把电能转化为原子晶格的拉伸变形的一种驱动方式，能都达到纳米级别的驱动，利用反馈控制方法减小重复定位误差。②静电驱动式纳执行器，以一维纳米材料为操作对象，通过外部静电场调控纳米材料间距离进而调节表面能场实现一维纳米材料的驱动，根据一维纳米材料特殊的物理特性开发了纳米轴承、纳米电机等纳米器件，为实现纳米器件的组装提供了研究基础。③生物分子驱动式纳执行器，主要以脱氧核糖核酸（DNA）驱动为主，以化学键的构建与分解为主要形式，实现DNA修饰物的移动变形等操作，应用于DNA分子组装。随着科学技术的发展，纳执行器的种类将会越来越多，为进一步的科学研究提供坚实的基础。