微磨削(micro grinding),工学-机械工程-〔机械制造工艺与装备〕-,在桌面化数控微磨床上利用直径在毫米级甚至是微米级的微型磨具,通过高速气动主轴带动微型磨具对工件材料进行的微量磨削去除。微磨削是在传统磨削的基础上发展起来的一种新的加工技术,可实现工件材料纳米级表面粗糙度的加工,已成功应用于光学元件、微透镜阵列以及反射光栅等微结构的加工。对于硬脆材料及其他难加工材料,微磨削可取代传统的研磨抛光工艺对其进行超精密加工。由于微磨削过程中所使用磨具的尺寸较小,机床主轴转速较高,使得单个磨粒承受较高频的冲击。因此,对于微磨削加工来说,一般选用金刚石等具有高耐磨性、高硬度、高化学稳定性和高导热性等优良特点的材料作为首选磨料。微磨削是微尺度加工领域的一个重要的研究方向。传统的机械加工零件,其特征形状尺寸对于表面粗糙度值的比值可以大于106(特征形状尺寸大于1米,表面粗糙度小于10微米)。微机械加工零件的特征尺寸一般小于1毫米,其表面粗糙度值大都在亚微米尺度(0.1~1微米),二者之比小于103~104。这种情况下,微磨削技术成为获得理想加工表面的重要方法。