多晶硅尾气

多晶硅企业在还原三氯氢硅过程中会产生大量氯硅烷尾气，成分和结构复杂，主要是四氯化硅和三氯氢硅，其次还有二氯二氢硅等多种硅烷形式，分离和精馏比较困难，转化率也非常低。目前技术路线比较可行且又比较经济的办法就是通过焚烧高温水解或低温水解氯硅烷气体，产生25%