电子束蒸镀系统

（化学名词）

电子束蒸镀系统是一种用于电子与通信技术领域的科学仪器，于2017年3月22日启用。圆柱形304L不锈钢腔体针对电子束蒸发工艺进行了优化；腔体基础压力是5×10-7torr；RF/DC偏置功率高达100W。[1]