微细电解线切割加工（micro wire electrochemical machining），工学-机械工程-〔机械制造工艺与装备〕-〔特种加工工艺与装备〕-电化学加工-〔电铸〕-微细电解加工，利用微细金属丝作为工具阴极，加工工件作为阳极，结合高精度的多轴数控运动，基于电化学阳极溶解原理对金属材料进行加工的一种微细电化学加工方法。又称线电极微细电解加工。见图。类属于微细电化学加工技术，具有可加工性与零件材料力学性能无关、工具无损耗、加工表面无应力、无变质层等特点。由于可以采用小至几微米的金属丝作为工具，所以微细电解线切割加工技术适合制造高精度金属窄缝、窄槽和复杂直纹可展曲面等微结构。微细电解线切割加工示意图2000年前，电解线切割加工一般采用直流或微秒/毫秒脉冲电源，加工缝宽较大，加工精度较低。2000年以后，得益于超短脉冲电流技术的应用，微细电解线切割加工技术的加工精度得到了大幅提高，采用纳秒、皮秒脉冲电流技术，可使电化学溶解定域性突变性提高。微细电解线切割加工采用的线电极直径已小至2微米，加工的最小缝宽达到4.28微米，外尖角圆弧半径小于2微米，内圆角半径小于10微米。