毫米波真空电子器件（millimeter wave vacuum electronic device），工学-电子科学与技术-电子元器件与制备技术-真空电子器件，工作在毫米波段将直流能量转换成毫米波电磁能量的微波管。毫米波的工作频率介于微波和太赫兹波之间，频率为30～300吉赫（通常认为100吉赫以上已经进入太赫兹波段），其特点是波长短、频带宽及多普勒频移大。毫米波真空电子器件主要包括行波管、速调管、返波管、磁控管、回旋管和前向波正交场放大管等管型。毫米波行波管是应用较广的毫米波真空电子器件，其频域可以覆盖整个毫米波段，甚至可以拓展到太赫兹频段，主要应用于卫星通信、星际通信、电子对抗和雷达等领域。毫米波行波管主要有螺旋线行波管、耦合腔行波管和曲折波导行波管等。螺旋线行波管具有宽带高效率的特点，主要应用于卫星通信转发和数据传输等领域。耦合腔行波管输出功率高，大多应用于高精度毫米波探测雷达。曲折波导行波管的慢波线为曲折波导，是全金属结构，适用于微细加工处理，能够实现更高频率的输出，是太赫兹频段的主要管型。