X射线光电子能谱小面积分析法

X射线光电子能谱小面积分析法（small area analysis by X-ray photoelectron spectroscopy）是2016年全国科学技术名词审定委员会公布的化学名词。通过降低能量分析器输入透镜光阑或缩小入射X射线束径，只接收样品表面小面积出射的光电子信号而获得小面积元素、化学态及电子结构的分析方法。