激光辅助等离子体分子束外延

激光辅助等离子体分子束外延（laser assisted plasma molecular beam epitaxy），材料科学技术名词，在分子束外延生长中，利用准分子脉冲激光烧蚀高熔点氧化物靶，使氧化物沉积到衬底上生长薄膜的技术。