微波等离子体辅助分子束外延

微波等离子体辅助分子束外延（microwave plasma assisted molecular beam epitaxy），材料科学技术名词，在分子束外延生长中，用高能量微波激励气体源物质辉光放电，产生活性气体源粒子，提高生长薄膜晶体质量的技术。