射频等离子体辅助分子束外延

射频等离子体辅助分子束外延（radio frequency plasma assisted molecular beam epitaxy），材料科学技术名词，在分子束外延生长中，利用射频高压放电产生等离子体，提供高度活性的气态源粒子(原子、分子、离子等)，降低薄膜的生长温度，提高生长速率的技术。