金属有机源分子束外延

金属有机源分子束外延（metal-organic molecular beam epitaxy，MOMBE），材料科学技术名词，对化合物半导体薄膜而言，某些组分采用金属有机化合物作为源物质，而某些组分为固态源物质的分子束外延生长技术。