卢瑟福离子背散射谱法

卢瑟福离子背散射谱法（Rutherford ion backscattering spectrometry，RBS），材料科学技术名词，测定大角度卢瑟福背散射离子的能谱，可对样品所含元素进行定性、定量和深度分布分析，以及薄膜厚度的测定。