反射式高能电子衍射法

反射式高能电子衍射法（reflection high energy electron diffraction，RHEED），化学名词，超高真空条件下，利用10~30keV高能电子以小于5°掠射角入射平整晶面并与表面原子发生很强的前冲弹性散射，通过测量反射方向上衍射条纹的几何结构并经换算从而确定表面基元晶格形状和大小的分析方法。