真空表面分析技术

真空表面分析技术通常把固体与气体的界面（或过渡区）称为固体的表面。很多物理、化学过程，如氧化、腐蚀、摩擦、催化、吸附、电接触和电子发射等都发生在表面，因而表面的微观现象已成为基础科学和工程技术的重要研究内容。实验表明，固体表面的组分、结构和电子态都可能与固体内部有相当大的差异。固体表面的这种特殊性质在工程技术上有很重要的意义。70年代以来表面科学已发展成为一门重要的新兴学科。表面科学的研究内容包括表面成分、结构、物理性质、化学性质、机械性质等，涉及物理、化学、生物等各个方面。