微区成分分析

微区成分分析(microanalysis)是指样品表面线度约1微米的面积内进行成分分析的技术。简称为微(束)分析或微探针。分析结果反映由微小面积和取样深度决定的有效探测体积内的平均成分和含量。分析时若对样品表面扫描即可探测成分的面分布及相应的表面形貌。此类成分分析大多始于20世纪60年代，随着以超大规模集成电路为代表的高新技术日益超微小型化，微区的线度也由约1微米向亚微米、纳米(10米)乃至原子尺寸(10米)方向延伸，对微区分析提出了更高的要求。