背散射电子

背散射电子是被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。能量很高，有相当部分接近入射电子能量E0，在试样中产生的范围大，像的分辨率低。背散射电子发射系数η=IB/I0随原子序数增大而增大。作用体积随入射束能量增加而增大，但发射系数变化不大。当电子束照射样品时，入射电子在样品内遭到衍射时，会改变方向，甚至损失一部分能量(在非弹性散射的情况下)。